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申请/专利权人：江苏美特森切削工具有限公司

摘要：本发明提供了一种高强韧性的双金属带锯条及其制备方法，所述制备方法包括：对带锯条基体表面进行超声波清洗，干燥后对带锯条基体进行热处理，随后对热处理后的带锯条基体的表面依次进行喷砂处理、酸洗处理和钝化处理；采用磁控溅射工艺在带锯条基体表面沉积形成CrN结合层；采用磁控溅射工艺在Cr过渡层表面沉积形成CrAlN过渡层；采用磁控溅射工艺在CrAlN过渡层表面沉积形成CrAlMoN功能层。本发明通过对带锯条基体进行喷砂、酸洗和钝化处理，可以在带锯条基体表面引入残余压应力，能够提升带锯条基体的抗疲劳性，本发明在带锯条基体表面沉积CrN结合层、CrAlN过渡层和CrAlMoN功能层，制备得到兼具高强度和高韧性的双金属带锯条。

主权项：1.一种高强韧性的双金属带锯条的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：（Ⅰ）对带锯条基体表面进行超声波清洗，干燥后对带锯条基体进行热处理，随后对热处理后的带锯条基体的表面依次进行喷砂处理、酸洗处理和钝化处理；（Ⅱ）采用磁控溅射工艺在带锯条基体表面沉积形成CrN结合层；（Ⅲ）采用磁控溅射工艺在Cr过渡层表面沉积形成CrAlN过渡层；（Ⅳ）采用磁控溅射工艺在CrAlN过渡层表面沉积形成CrAlMoN功能层；步骤（Ⅱ）中，所述CrN结合层的磁控溅射工艺的操作步骤包括：将带锯条基体固定于真空镀膜设备腔体内的转台上，对真空镀膜设备的腔体进行抽真空并向腔体内充入氩气和氮气，以将腔体内的压力调整至溅射气压；启动转台，带动带锯条基体旋转并对带锯条基体进行加热；向带锯条基体施加偏压，向Cr靶施加溅射电流，在带锯条基体表面沉积形成所述CrN结合层；所述真空镀膜设备腔体内的真空度为10-5~10-4Pa；所述氮气的通入量为200~300sccm；所述氩气的通入量100~200sccm；所述真空镀膜设备腔体内的溅射气压为0.1~0.3Pa；所述转台的转速为30~40rmin；所述带锯条基体的加热温度为100~200℃；施加于所述带锯条基体上的偏压为-120~-150V；施加于所述Cr靶上的溅射电流为5~15A；所述磁控溅射的沉积时间为10~20min；步骤（Ⅲ）中，所述CrAlN过渡层的磁控溅射工艺的操作步骤包括：将带锯条基体固定于真空镀膜设备腔体内的转台上，对真空镀膜设备的腔体进行抽真空并向腔体内充入氩气和氮气，以将腔体内的压力调整至溅射气压；启动转台，带动带锯条基体旋转并对带锯条基体进行加热；向带锯条基体施加偏压，向Cr靶和Al靶分别独立地施加溅射电流，在CrN结合层表面沉积形成所述CrAlN过渡层；所述真空镀膜设备腔体内的真空度为10-5~10-4Pa；所述氮气的通入量为200~300sccm；所述氩气的通入量100~200sccm；所述真空镀膜设备腔体内的溅射气压为0.8~1Pa；所述转台的转速为30~40rmin；所述带锯条基体的加热温度为100~200℃；施加于所述带锯条基体上的偏压为-80~-90V；施加于所述Cr靶上的溅射电流为3~5A；施加于所述Al靶上的溅射电流为5~8A；所述磁控溅射的沉积时间为20~30min；所述CrAlMoN功能层的磁控溅射工艺的操作步骤包括：将带锯条基体固定于真空镀膜设备腔体内的转台上，对真空镀膜设备的腔体进行抽真空并向腔体内充入氩气和氮气，以将腔体内的压力调整至溅射气压；启动转台，带动带锯条基体旋转并对带锯条基体进行加热；向带锯条基体施加偏压，向Cr靶、Al靶和Mo靶分别独立地施加溅射电流，在CrAlN过渡层表面沉积形成所述CrAlMoN功能层；所述真空镀膜设备腔体内的真空度为10-5~10-4Pa；所述氮气的通入量为200~300sccm；所述氩气的通入量100~200sccm；所述真空镀膜设备腔体内的溅射气压为0.7~0.8Pa；所述转台的转速为30~40rmin；所述带锯条基体的加热温度为100~200℃；施加于所述带锯条基体上的偏压为-70~-80V；施加于所述Cr靶上的溅射电流为3~5A；施加于所述Al靶上的溅射电流为1~3A；施加于所述Mo靶上的溅射电流为0.5~0.6A；所述磁控溅射的时间为40~50min。

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