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申请/专利权人:上海广川科技有限公司
摘要:一种基于磁流体的防抖动型同心两轴真空机器人传动结构,包括机器人手臂组件、磁流体组件、传动组件和丝杆螺母连接件;传动组件设置在所述磁流体组件的底部,传动组件底端与丝杆螺母连接件固定连接;磁流体组件包括磁流体外轴和磁流体内轴;传动组件包括伺服电机一和内轴连接件;当伺服电机一通过谐波减速机二带动磁流体外轴旋转时,磁流体内轴和磁流体外轴同时旋转时,机器人手臂组件做旋转运动。因此,本发明通过一个伺服电机控制机器人手臂的旋转,有效避免了多电机同步运动时造成的抖动问题,减少了晶圆在搬运过程中的脱落风险。
主权项:1.一种基于磁流体的防抖动型同心两轴真空机器人传动结构,其特征在于,包括机器人手臂组件1、磁流体组件2、传动组件3和丝杆螺母连接件4;所述传动组件3设置在所述磁流体组件2的底部,所述传动组件3底端与丝杆螺母连接件4固定连接;所述磁流体组件2固定连接所述手臂组件1,并包括磁流体外轴21和磁流体内轴22;所述传动组件3包括固定座31、谐波减速机一32、谐波减速机二33、外轴连接环34;所述固定座31的顶部固定连接有谐波减速机一32,所述谐波减速机一32的顶部固定连接有外轴连接环34,所述外轴连接环34的顶端与磁流体外轴21的底端固定连接,所述磁流体内轴22的底端贯穿谐波减速机一32并延伸至内轴连接件311的中心,所述内轴连接件311固定设置在固定座31的中心并固定连接所述磁流体内轴22,所述固定座31的底部通过螺钉固定连接有谐波减速机二33,所述谐波减速机二33的底端与丝杆螺母连接件4固定连接;所述传动组件3包括伺服电机一310和内轴连接件311;其中,所述谐波减速机二33工作带动固定座31旋转,所述磁流体外轴21和磁流体内轴22均与固定座31固定,当固定座31旋转时,磁流体外轴21和磁流体内轴22会跟随固定座31同时旋转,并带动所述机器人手臂组件1旋转。
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