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申请/专利权人：常州比太科技有限公司
摘要：本实用新型属于花篮技术领域，具体涉及一种用于硅片高温烘干的承载花篮，包括：花篮本体，花篮本体包括若干组齿杆和一对底板，底板设置在齿杆的两端，齿杆的侧壁相向设置有若干适于插入硅片的放置槽，其中，齿杆之间设置有加强板；花篮本体和加强板的材料为耐高温金属材料；通过设置加强板，加强板镂空设计，便于工作人员拿取和搬运花篮本体；加强板提高了齿杆连接处的结构强度，提高了花篮本体的质量和稳定性；通过将花篮本体和加强板的制作材料设计成耐高温金属材料，耐高温金属材料优选为铝材，铝材质地轻，耐高温，加工简单，能在硅片高温烘干定型时工作稳定，为硅片烘干提供了稳固支撑，提高了烘干效率和稳定性。
主权项：1.一种用于硅片高温烘干的承载花篮，其特征在于，包括：花篮本体，所述花篮本体包括若干组齿杆和一对底板，所述底板设置在所述齿杆的两端，所述齿杆的侧壁相向设置有若干适于插入硅片的放置槽；所述齿杆之间设置有加强板；其中，所述花篮本体和所述加强板的材料为耐高温金属材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州比太科技有限公司 一种用于硅片高温烘干的承载花篮
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