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申请/专利权人：荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆运输用缓冲出货箱，包括矩形状的箱体，箱体的上端开口并配合设有可拆卸的箱盖，箱体内的底部放置有第一泡沫垫，箱体的四周内壁上均蒙有一层具有弹性的气囊膜，气囊与箱体的内壁相匹配，气囊膜的四周与箱体密封固定连接以在气囊膜与箱体的内壁之间形成充气腔，箱体的外壁上设有一圈进气管，进气管与四个充气腔分别连通，进气管连接有进气口，进气口设有阀门，箱盖的内侧朝下设有若干缓冲弹簧，充气后的气囊膜从四周夹紧若干晶圆盒以排除缝隙，并且与第一泡沫垫以及缓冲弹簧相配合，在各个方向给晶圆盒提供缓冲，保护全面。
主权项：1.一种晶圆运输用缓冲出货箱，其特征在于，包括矩形状的箱体1，所述箱体1的上端开口，所述箱体1的上端配合设有可拆卸的箱盖2，所述箱盖2与箱体1密封连接，所述箱体1内的底部放置有第一泡沫垫3，所述箱体1的四周内壁上均蒙设有一层具有弹性的气囊膜4，所述气囊膜4呈矩形状并与箱体1的内壁相匹配，所述气囊膜4的四周与箱体1的内壁密封固定连接以在气囊膜4与箱体1的内壁之间形成充气腔，所述箱体1的外壁上设有一圈进气管5，所述进气管5与四个充气腔分别连通，所述进气管5连接有进气口6，所述进气口6设有阀门7，所述箱盖2的内侧朝下设有若干缓冲弹簧8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司 一种晶圆运输用缓冲出货箱
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