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申请/专利权人：华虹半导体(无锡)有限公司
摘要：本申请涉及半导体集成电路制造技术领域，具体涉及一种带状离子束离子均匀性检测方法和装置。方法包括：使得离子束电流检测单元沿带状离子束的宽度方向步进移动；获取带状离子束宽度方向各个检测点位置的离子束电流值；计算所有检测点位置离子束电流值的均值；判断所有检测点位置离子束电流值的均值是否位于离子束电流均值阈值范围内；当所有检测点位置离子束电流值的均值位于离子束电流均值阈值范围内时，分段计算各个检测区段中离子束电流值的偏差度；判断各个检测区段离子束电流值的偏差度是否超过偏差度阈值；在当前检测区段离子束电流值的偏差度未超过偏差度阈值时，确定带状离子束当前检测区段的离子均匀性达标。
主权项：1.一种带状离子束离子均匀性检测方法，其特征在于，所述带状离子束离子均匀性检测方法包括：使得离子束电流检测单元沿带状离子束的宽度方向步进移动；获取所述带状离子束宽度方向各个检测点位置的离子束电流值；计算所有检测点位置离子束电流值的均值；判断所有检测点位置离子束电流值的均值是否位于离子束电流均值阈值范围内；当所有检测点位置离子束电流值的均值位于离子束电流均值阈值范围内时，分段计算各个检测区段中离子束电流值的偏差度；判断各个检测区段离子束电流值的偏差度是否超过偏差度阈值；在当前检测区段离子束电流值的偏差度未超过偏差度阈值时，确定带状离子束当前检测区段的离子均匀性达标。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华虹半导体(无锡)有限公司 带状离子束离子均匀性检测方法和装置
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