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申请/专利权人：深圳市麦捷微电子科技股份有限公司
摘要：本发明公开一种晶圆夹具，夹具包括夹具主体、固定弹片和晶圆定位块，夹具主体上开设有一个以上用于承载晶圆的晶圆承载凹台。本发明通过将弹片可拆卸地安装在夹具主体上，使得夹具主体与弹片分别可以使用不同材质制作，使其满足生产中固定晶圆的要求。本发明采用弹片可拆装结构，可直接完成更换，方便了加工及维修，夹具固定块增加了晶圆固定作用及减缓裂片的风险，并且通过应力分析及DOE验证结果表明其焊接品质更能达到客户的要求，投入量产后对现场的工作效率及综合良率有明显提升。
主权项：1.一种晶圆夹具，其特征是：所述的夹具包括夹具主体（50）、固定弹片（30）和晶圆定位块（60），夹具主体（50）上开设有一个以上用于承载晶圆的晶圆承载凹台（80）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市麦捷微电子科技股份有限公司 一种晶圆夹具
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