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改善电极蒸镀质量的发光二极管及其制备方法 

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申请/专利权人:京东方华灿光电(苏州)有限公司

摘要:本公开提供了一种改善电极蒸镀质量的发光二极管及其制备方法,属于光电子制造技术领域。该发光二极管的制备方法包括:提供一待蒸镀制品;控制电子枪按照振荡功率模式工作,以在所述待蒸镀制品的表面蒸镀电极,所述振荡功率模式包括交替执行的多个第一阶段和多个第二阶段,所述电子枪处于所述第一阶段时,控制所述电子枪的功率从第一功率上升至第二功率,所述电子枪处于所述第二阶段时,控制所述电子枪的功率从所述第二功率降低至所述第一功率。本公开实施例能保证在蒸镀过程中AuGe层的各元素组分的比例保持一致,提升电极蒸镀质量。

主权项:1.一种发光二极管的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:提供一待蒸镀制品;控制电子枪按照振荡功率模式工作,以在所述待蒸镀制品的表面蒸镀电极,所述振荡功率模式包括交替执行的多个第一阶段和多个第二阶段,所述电子枪处于所述第一阶段时,控制所述电子枪的功率从第一功率上升至第二功率,所述电子枪处于所述第二阶段时,控制所述电子枪的功率从所述第二功率降低至所述第一功率。

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权利要求:

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