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申请/专利权人：合肥江丰电子材料有限公司
摘要：本发明提供了一种LCD靶材清洗喷砂后的防氧化方法，所述防氧化方法包括将靶材的非溅射面进行喷砂处理，得到喷砂靶材；将所述的喷砂靶材进行清洗，采用压缩气体进行吹扫干燥，得到具有干燥喷砂面的靶材；其中，所述压缩气体通过热风枪喷出，所述热风枪的功率为5～8kW。在本发明中，通过对防氧化方法的具体设计，对靶材非溅射面进行喷砂处理后，对喷砂面进行清洗，并采用热喷枪进行吹扫干燥的方式快速去除喷砂面容易残留的清洗液，加快水分的挥发，防止传统方法干燥时容易造成平面分体型靶材的喷砂面氧化而影响靶材质量的问题，降低靶材生产的不良率。
主权项：1.一种LCD靶材清洗喷砂后的防氧化方法，其特征在于，所述防氧化方法包括：1将靶材的非溅射面进行喷砂处理，得到喷砂靶材；2将步骤1所述的喷砂靶材进行清洗，采用压缩气体进行吹扫干燥，得到具有干燥喷砂面的靶材；其中，所述压缩气体通过热风枪喷出，所述热风枪的功率为5～8kW。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥江丰电子材料有限公司 一种LCD靶材清洗喷砂后的防氧化方法
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