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一种新型单晶炉调温温度自动系统控制方法 

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申请/专利权人:乌海市京运通新材料科技有限公司

摘要:本发明公开了一种新型单晶炉调温温度自动系统控制方法,具体涉及单晶炉调温技术领域,包括对比预测温度与实际温度确定预测精度和系统响应性,自适应控制参数调整,特殊功率控制,多级功率调整策略,故障诊断和自动修复,能源利用优化,远程监控和智能报警。本发明通过精准温度预测与对比、自适应参数调整、特殊功率控制、多级功率调整策略,可以根据具体要求进行精细的功率调节,提高了能源利用效率和生产效率,提高了系统控制质量,降低了温度波动造成的温度不温的情况,有效解决了调温过程异常造成引晶、放肩、转肩、等径工步温度异常断线或者调温失败降低成晶率的问题,从而提升单晶产能。

主权项:1.一种新型单晶炉调温温度自动系统控制方法,其特征在于:具体包括以下步骤:步骤一:对比预测温度与实际温度确定预测精度和系统响应性,系统利用温度传感器和数据采集装置持续收集历史温度数据和实时反馈,通过基于历史数据的回归分析、时间序列分析、神经网络算法的温度预测算法,对未来温度变化进行预测,根据预测结果,由控制器调整功率,实现对温度的初步控制,不断对比预测温度与实际温度,以确定预测精度和系统响应性;步骤二:自适应控制参数调整,借助环境传感器、数据采集装置实时监测单晶炉内部环境和操作条件的变化,控制器根据采集到的环境和操作条件数据,运用控制算法自动调整控制参数,对比不同条件下的控制参数,评估参数调整效果;步骤三:特殊功率控制,在原有调温温度系统基础上,屏蔽液面亮度上升时,功率发生变化,使得功率不变,当屏蔽后只让液面亮度下降1个单位时,功率反弹1.5kw,当液面亮度下降超过1个单位时,功率按照设定参数1.5kw进行反弹,亮度发生上升时功率不再进行变化,对于亮度下降进行功率反弹控制,亮度不动或者亮度上升时,功率不进行控制,可有效减小温度滞后性及波动,在原有调温系统方法基础上屏蔽液面亮度上升时,功率需要下降变化的功能,只对液面亮度下降时进行功率控制,对反弹后的功率增加延时功能,减少功率波动造成的温度波动,减小温度滞后;步骤四:多级功率调整策略,根据工艺要求和产品特性,确定需要达到的目标温度,使用高精度传感器实时检测单晶炉内的当前温度,根据当前温度、目标温度、降温周期、循环周期和功率调整系数等参数,按照特定公式计算功率降幅,根据计算得到的功率降幅,降低或升高单晶炉的加热功率,不断进行单次调温循环比对,直至最后液面当前温度与目标温度相差值在设定范围内,停止循环调温操作,当温度达到目标值后,将功率提升到设定引晶功率,使单晶炉进入稳温阶段;步骤五:故障诊断和自动修复,通过设备状态监测装置和数据采集装置实时监测设备状态和传感器数据,利用数据挖掘算法进行故障诊断,一旦发现可能的故障,系统自动根据故障诊断结果调整设备工作状态或执行修复程序,对比故障前后的设备状态和传感器数据,确认修复效果;步骤六:能源利用优化,利用电力计量装置、功率调节装置和数据采集装置收集相关数据,根据电力成本和能源效率,通过策略算法调整功率控制策略,对比不同功率调节策略下的能源消耗和运行成本;步骤七:远程监控和智能报警,通过远程监控装置和数据采集装置远程监控单晶炉的运行状态和温度变化,设置智能报警系统,利用监测算法,当远程监控系统实时监测的温度和运行状态数据达到预设阈值时触发智能报警。

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权利要求:

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