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申请/专利权人：柯尔微电子装备(厦门)有限公司
摘要：本申请涉及晶圆检查技术领域，具体公开一种半自动晶圆表面检查机以及晶圆检查方法。该半自动晶圆表面检查机包括机架，以及安装在机架上的直边产品箱、直边产品定位模组、圆形产品箱、巡边对位模组、机械手、目视宏观检模组和目视微观检模组。直边产品定位模组包括直边产品支撑机构、左定位件和右定位件。左定位件和右定位件设置于直边产品支撑机构的两侧。左定位件和右定位件受驱动而相互靠近以推移产品至设定位置，也能受驱动而相互远离以放开产品。机械手能搬运产品在直边产品箱、直边产品定位模组、圆形产品箱、巡边对位模组、目视宏观检模组和目视微观检模组之间移动。使用该检查机可以改善人工目视检测自动化程度低，检测效率低的状况。
主权项：1.一种半自动晶圆表面检查机，其特征在于，包括机架（1），以及安装在所述机架（1）上的直边产品箱（2）、直边产品定位模组（3）、圆形产品箱（4）、巡边对位模组（5）、机械手（6）、目视宏观检模组（7）和目视微观检模组（8）；所述直边产品箱（2）具有用于放置直边产品料盒（9）的安装位；所述直边产品定位模组（3）包括直边产品支撑机构（301）、左定位件（302）和右定位件（303）；所述左定位件（302）和所述右定位件（303）设置于所述直边产品支撑机构（301）的两侧；所述左定位件（302）具有左直面（3021）；所述右定位件（303）具有右直面（3031）；所述左直面（3021）和所述右直面（3031）相对并且相互平行；所述左定位件（302）和所述右定位件（303）受驱动而相互靠近以推移所述直边产品支撑机构（301）上的直边产品至设定位置，也能受驱动而相互远离以放开直边产品；所述机械手（6）配置为能搬运产品在所述直边产品箱（2）、所述直边产品定位模组（3）、所述目视宏观检模组（7）和所述目视微观检模组（8）之间移动；所述机械手（6）还配置为能搬运产品在所述圆形产品箱（4）、所述巡边对位模组（5）、所述目视宏观检模组（7）和所述目视微观检模组（8）之间移动。
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权利要求：
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