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申请/专利权人：株式会社村田制作所
摘要：在本公开的弹性波元件的制造方法中，所述弹性波元件包含支承基板、设置在支承基板上的压电体层、以及设置在压电体层上的功能电极，在支承基板中，在支承基板和压电体层的层叠方向上与功能电极的一部分重叠的位置设置有空洞部，其中，所述弹性波元件的制造方法包含：准备晶片；将晶片粘附于裁切胶带；对晶片进行裁切，从而将弹性波元件单片化；以及通过使至少一个销隔着裁切胶带对弹性波元件进行顶压，从而将弹性波元件从裁切胶带分离，并拾取弹性波元件。在层叠方向上，使至少一个销顶压到弹性波元件的位置配置在与空洞部重复的位置。
主权项：1.一种弹性波元件的制造方法，所述弹性波元件包含支承构件、设置在所述支承构件上的压电体层、以及设置在所述压电体层上的功能电极，在所述支承构件中，在所述支承构件和所述压电体层的层叠方向上与所述功能电极的一部分重叠的位置设置有空洞部，其中，所述弹性波元件的制造方法包含：准备晶片；将所述晶片粘附于裁切胶带；对所述晶片进行裁切，从而将所述弹性波元件单片化；通过使至少一个销隔着所述裁切胶带对所述弹性波元件进行顶压，从而将所述弹性波元件从所述裁切胶带分离，并拾取所述弹性波元件，在所述层叠方向上，使所述至少一个销顶压到所述弹性波元件的位置配置在与所述空洞部重复的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社村田制作所 弹性波元件的制造方法以及弹性波元件
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