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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：提供用于通过输送部实现高效的输送时间表的信息。预测装置具有：计算部，计算由测试器进行晶圆的测试时的测试时间；测试时间预测部，基于由所述计算部计算出的过去的测试时间，预测当前的测试时间；结束时刻预测部，在取得由所述测试器进行的测试对象的晶圆的测试的开始时刻的情况下，基于预测出的所述测试时间，预测所述测试对象的晶圆的测试的结束时刻；以及存储部，至少对预测出的所述测试时间和预测出的所述结束时刻，以能够读出的方式进行存储。
主权项：1.一种预测装置，具有：计算部，计算由测试器进行晶圆的测试时的测试时间；测试时间预测部，基于由所述计算部计算出的过去的测试时间，预测当前的测试时间；结束时刻预测部，在取得由所述测试器进行的测试对象的晶圆的测试的开始时刻的情况下，基于预测出的所述测试时间，预测所述测试对象的晶圆的测试的结束时刻；以及存储部，至少对预测出的所述测试时间和预测出的所述结束时刻，以能够读出的方式进行存储。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 预测装置、检查系统、预测方法及预测程序
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