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工艺建模数据维护系统、方法及存储介质 

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申请/专利权人:上海华力集成电路制造有限公司

摘要:本发明提供了一种工艺建模数据维护系统、方法及存储介质,系统包括:数据模板,其具有至少11个不同的大类目录,每个大类目录包括至少一个小类模板,每个小类模板对应一个预设规则,小类模板的总数量大于30;模板选择单元,其用于选择与工艺建模数据相适配的大类目录,并确定与工艺建模数据相适配的小类模板;验证单元,其用于通过小类模板对应的预设规则对工艺建模数据进行验证,以验证工艺建模数据是否符合小类模板;提交单元,若工艺建模数据符合小类模板,提交单元将工艺建模数据导入到对应的小类模板中。本发明可以加快工艺建模数据导入工厂内部系统的速度,减轻BR工程师的工作量,提高数据维护效率,保证工艺建模数据的准确性。

主权项:1.一种工艺建模数据维护系统,其特征在于,包括:数据模板,其具有至少11个不同的大类目录,每个所述大类目录包括至少一个小类模板,每个所述小类模板对应一个预设规则,所述小类模板的总数量大于30;模板选择单元,其用于选择与工艺建模数据相适配的大类目录,并进一步确定与所述工艺建模数据相适配的小类模板;验证单元,其用于通过所述小类模板对应的预设规则对与所述小类模板相适配的工艺建模数据进行验证,以验证所述工艺建模数据是否符合所述小类模板;提交单元,当所述验证单元验证出所述工艺建模数据符合所述小类模板,所述提交单元将所述工艺建模数据导入到对应的小类模板中。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海华力集成电路制造有限公司 工艺建模数据维护系统、方法及存储介质

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