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申请/专利权人：青岛四方思锐智能技术有限公司
摘要：本发明公开了一种动态调谐装置及射频桶组件，涉及离子注入机技术领域。动态调谐装置包括：支架；电机，设置在所述支架上；升降柱，所述升降柱沿其长度方向可移动地设置在所述支架上；驱动组件，所述驱动组件与所述电机和所述升降柱驱动连接，用于驱动所述升降柱直线运动；运动轴，可拆卸地连接在所述升降柱的底端，所述运动轴可随所述升降柱移动。本发明通过升降柱控制运动轴的升降动作，驱动组件驱动升降柱做直线运动，提高了传动效率，同时解决了螺纹传动可靠性低的问题。并且，运动轴与升降柱可拆卸连接，发生故障时更方便进行维修。
主权项：1.一种动态调谐装置，其特征在于，包括：支架；电机，设置在所述支架上；升降柱，所述升降柱沿其长度方向可移动地设置在所述支架上；驱动组件，所述驱动组件与所述电机和所述升降柱驱动连接，用于驱动所述升降柱直线运动；运动轴，可拆卸地连接在所述升降柱的底端，所述运动轴可随所述升降柱移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛四方思锐智能技术有限公司 一种动态调谐装置及射频桶组件
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