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申请/专利权人：江苏龙恒新能源有限公司

摘要：本发明公开了一种降低表面浓度、提高结区浓度的扩散提效方法包括前序步骤、第一次前沉积、第二次前沉积、升温、磷杂质推进、降温、预沉积和后序步骤，第一次前沉积是将扩散炉内的温度保持在770℃，扩散炉内保持氮气流量1.2slmmin、三氯氧磷流量1.25slmmin和氧气流量0.9slmmin，扩散炉内压力保持在80mbar，沉积时间为5分钟，第二次前沉积：以15℃min的升温速率使扩散炉内的温度升温并使扩散炉内的温度保持在780℃；扩散炉内保持氮气流量1.2slmmin、三氯氧磷流量1.25slmmin、氧气流量0.9slmmin，扩散炉内压力保持在80mbar，沉积时间为2分钟。与现有技术相比，本发明的一种降低表面浓度、提高结区浓度的扩散提效方法优化了扩散工艺，提高了电池转换效率。

主权项：1.一种降低表面浓度、提高结区浓度的扩散提效方法，其特征在于，包括：S1、前序步骤；S2、第一次前沉积：扩散炉内的温度保持在770℃，扩散炉内保持氮气流量1.2slmmin、三氯氧磷流量1.25slmmin和氧气流量0.9slmmin，扩散炉内压力保持在80mbar，沉积时间为5分钟；S3、第二次前沉积：以15℃min的升温速率使扩散炉内的温度升温并使扩散炉内的温度保持在780℃；扩散炉内保持氮气流量1.2slmmin、三氯氧磷流量1.25slmmin、氧气流量0.9slmmin，扩散炉内压力保持在80mbar，沉积时间为2分钟；S4、升温：以15℃min的升温速率使扩散炉内的温度升至850℃，扩散炉内保持氮气流量1.2slmmin，关闭三氯氧磷流量、氧气流量，扩散炉内压力保持在80mbar；S5、磷杂质推进：扩散炉内的温度保持在850℃，扩散炉内保持氮气流量1.8slmmin，打开氧气流量，关闭三氯氧磷流量，扩散炉内压力保持在80mbar，推进时间为11分钟；S6、降温：扩散炉内的温度以2℃min的降温速率降温至810℃，扩散炉内保持氮气流量1.2slmmin，关闭三氯氧磷流量、氧气流量；S7、预沉积：S7.1、扩散炉内的温度保持在810℃，打开氮气流量、三氯氧磷流量和氧气流量，沉积时间为1.5min；S7.2、扩散炉内的温度以2℃min的降温速率降温至800℃，关闭三氯氧磷流量、氧气流量；S8、后序步骤。

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