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申请/专利权人：乌海市京运通新材料科技有限公司
摘要：本发明公开了一种化料过程排气管道自清理系统及装置，具体涉及单晶硅制造技术领域，包括外界装置壳体，所述外界装置壳体一侧固定安装有固定侧板，所述外界装置壳体内部设置有自清理机构，所述外界装置壳体一侧固定连接有排气管道本体。本发明实现了对排气管道沉积挥发物效果良好，适应性强，能实时监测和精准控制气压等参数，达成自动化清理与手动干预，保障系统稳定运行，有效维持炉压，全面覆盖自动与手动清理，降低管道清理难度与时间，提高生产效率，同时利用清洁螺旋刀片与排气管道本体间空间带出灰尘，防止因粉尘清理爆炸致人员伤害，借助电脑主机中的相关模块实现智能化操作与管理，进一步提升了工作效率和质量。
主权项：1.一种化料过程排气管道自清理装置，包括外界装置壳体（1），其特征在于：所述外界装置壳体（1）一侧固定安装有固定侧板（2），所述外界装置壳体（1）内部设置有自清理机构，所述外界装置壳体（1）一侧固定连接有排气管道本体（15），所述外界装置壳体（1）与排气管道本体（15）之间设置有压力监测机构；所述自清理机构包括螺纹杆（4），所述螺纹杆（4）设置在外界装置壳体（1）内部，所述固定侧板（2）一侧固定安装有第一电机（3），所述螺纹杆（4）固定在第一电机（3）输出端，所述螺纹杆（4）外侧螺纹连接有螺纹套（5），所述螺纹套（5）一端固定连接有固定连接板（6），所述固定连接板（6）一侧固定安装有第二电机（7），所述第二电机（7）输出端固定连接有清洁螺旋刀片（8），所述固定侧板（2）一侧固定连接有抽气管（9），所述抽气管（9）前端固定安装有抽气泵（10）；所述压力监测机构包括两个真空计（11），两个所述真空计（11）分别安装在外界装置壳体（1）和排气管道本体（15）内部，其中一个所述真空计（11）顶部固定安装有第一气压表（12），另一个所述真空计（11）顶部固定安装有第二气压表（13）。
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