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申请/专利权人：沛顿科技(深圳)有限公司
摘要：本发明属于芯片加工技术领域，具体为一种防止芯片静电吸附Tray盘的升降台结构，包括升降台，升降台的底部固定连接有升降气缸，升降台为空心结构，升降台的顶部开设有多个均布的出风孔，升降台的底部两侧均固定连通有离子风管，离子风管和升降台的内腔连通，升降台的内腔和出风孔连通，离子风管的外端和离子风机连通，升降台的顶部两侧均固定有挡板。本发明的离子风与气缸振动的双重作用，可以防止芯片因为静电吸附作用而吸附在Tray盘上，避免后续Tray盘翻转过程中芯片因为静电吸附而掉落损坏的异常发生。
主权项：1.一种防止芯片静电吸附Tray盘的升降台结构，包括升降台1，其特征在于：所述升降台1的底部固定连接有升降气缸12，所述升降台1为空心结构，所述升降台1的顶部开设有多个均布的出风孔11，所述升降台1的底部两侧均固定连通有离子风管13，所述离子风管13和升降台1的内腔连通，所述升降台1的内腔和出风孔11连通，所述离子风管13的外端和离子风机连通，所述升降台1的顶部两侧均固定有挡板2，所述升降气缸12的侧壁固定有控制器15。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沛顿科技(深圳)有限公司 一种防止芯片静电吸附Tray盘的升降台结构
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