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申请/专利权人：昆山艾森世华光电材料有限公司
摘要：本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆清理槽进出水口密封组件，主要是通过设置的密封垫结构与密封紧固组件的配合使用，对于晶圆清理槽的进水口与输水管的连接位置进行稳固密封，通过在密封垫主体设置相应的第一环形缓冲槽、第二环形缓冲槽，在保证稳定密封的基础上，针对在发生外溢情况时，对于外溢的水具有一定的缓冲防漏作用，且配合密封紧固组件中设置的第一紧固箍、第二紧固箍，提高连接法兰连接稳固性，以及在第二紧固箍的底端设置收集筒，对于外溢的水具有相应的收集作用，避免造成浪费；对于提高晶圆清洗工作效益具有积极影响。
主权项：1.一种晶圆清理槽进出水口密封组件，其特征在于：包括连接法兰（4）、连接螺纹销（5）、紧固螺母（6）、密封垫结构（7）、密封紧固组件和辅助组件；所述连接法兰（4）固定设置在进水口（2）的一端，且连接法兰（4）也固定设置在输水管（3）的一端，所述进水口（2）设置在清洗槽装置（1）上，所述进水口（2）与连接法兰（4）两者端部的连接法兰（4）通过连接螺纹销（5）进行连接，且连接螺纹销（5）与紧固螺母（6）螺纹连接，所述连接法兰（4）的对接面设置有密封垫结构（7），所述密封紧固组件对连接法兰（4）的连接进行密封紧固，且密封紧固组件与辅助组件连接设置。
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权利要求：
百度查询： 昆山艾森世华光电材料有限公司 一种晶圆清理槽进出水口密封组件
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