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申请/专利权人：MKS仪器有限公司
摘要：一种包括混合模块的阻抗匹配网络。混合模块基于从由RF发生器生成的输出感测到的至少一个参数接收多个导纳。输出信号是对于每个脉冲具有多个状态的脉冲RF信号，并且多个导纳对应于多个状态。混合模块生成根据由增益调节的多个导纳而确定的虚拟导纳。阻抗匹配模块接收虚拟导纳并且根据虚拟导纳生成用于调节阻抗匹配网络的电容的命令或用于调节输出信号的频率的命令。
主权项：1.一种用于RF电力输送系统的阻抗匹配网络的控制器，所述控制器包括：混合模块，被配置为接收根据从由所述RF电力输送系统的RF发生器生成的输出信号感测到的至少一个参数生成的多个导纳并且进一步被配置为生成根据分别由增益调节的所述多个导纳而确定的虚拟导纳，其中，所述输出信号是对于每个脉冲具有多个状态的脉冲RF信号，并且所述多个导纳对应于所述多个状态；以及阻抗匹配模块，被配置为接收所述虚拟导纳并且根据所述虚拟导纳生成用于调节所述阻抗匹配网络的电容的命令或用于调节所述输出信号的频率的命令。
全文数据：
权利要求：
百度查询： MKS仪器有限公司 RF电力生成系统中的阻抗匹配
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