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申请/专利权人：卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
摘要：公开了一种降低漂移灵敏度并延长使用寿命的多束带电粒子成像系统的多束产生单元。通过结合屏蔽构件、冷却构件或改良结构中的至少一者及用于操作主动多孔元件的方法，将X射线辐射和热负荷所引起的漂移降到最低。通过形成例如电压供应单元的主动多孔元件或微电子装置的退火方法进一步提高使用寿命。
主权项：1.一种多束系统1，其具有主动多孔元件306,390及配置成控制该主动多孔元件306,390的控制单元840，该主动多孔元件306,390包含：多个以光栅构造布置的J个孔85，其配置为在使用期间使第一多个J个一次带电粒子小束3传输通过该主动多孔元件306,390；多个电极81，其包含布置在所述孔85中每一者周围的至少一个电极81，所述多个电极81包含第一组电极83.1和第二组电极83.2；第一电压供应单元261.1，其配置为在使用期间提供多个电压给该第一组电极83.1；第二电压供应单元261.2，其配置为在使用期间提供多个电压给该第二组电极83.2；所述第一和第二电压供应单元261.1,261.2连接到该控制单元840；而且其中该控制单元840配置为在使用期间控制由所述第一和第二电压供应单元261.1,261.2提供给所述第一和第二组电极83.1,83.2的多个电压；其中该控制单元840还配置为在使用期间补偿该第一电压供应单元261.1的漂移。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司 多束系统以及具有对漂移与损坏的降低敏感度的多束产生单元
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