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申请/专利权人：爱思开矽得荣株式会社
摘要：本实施例涉及一种用于外延生长装置的支撑件以及包括其的外延生长装置，其中，所述支撑件在外延生长工程中可以通过最小化热变形来稳定地支撑基座和晶圆。根据实施例的一方面，提供一种用于外延生长装置的支撑件，其安装在用于安置晶圆的基座和可旋转轴之间，包括：中心轴，呈中空状，耦合在所述轴的上方；多个支撑臂，呈中空状，沿半径方向延伸，以使与所述中心轴连通，且用于支撑所述基座；多个加强臂，呈杆状，沿半径方向延伸，以使与所述中心轴连接，且用于支撑所述基座。
主权项：1.一种用于外延生长装置的支撑件，安装在用于安置晶圆的基座和可旋转轴之间，包括：中心轴，呈中空状，耦合在所述轴的上方；多个支撑臂，呈中空状，沿半径方向延伸，以使与所述中心轴连通，且用于支撑所述基座；多个加强臂，呈杆状，沿半径方向延伸，以使与所述中心轴连接，且用于支撑所述基座。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 爱思开矽得荣株式会社 用于外延生长装置的支撑件以及包含其的外延生长装置
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