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申请/专利权人：哈尔滨理工大学
摘要：一种基于MEMS温度传感器的新型设备及其使用方法，本发明涉及流化床技术领域,具体为一种可以通过温度来控制进气口的硅烷流化床装置及其使用方法。包括脉冲流化床、MEMS的温度传感器和控制模块；流化床上部设有进料管和进料口；流化床下部设有出料口；空气管下部连接流量自动调节模块,流量自动调节模块下部连接进气管；脉冲阀和自动调节模块连接控制模块。本发明利用脉冲流化床作为反应器,将MEMS的温度传感器模块引入到脉冲硅烷流化床装置中，减少籽晶团聚和粘附,提高反应器内气、固相的传质,加快生产速度减少硅粉,解决传统硅烷流化床置出现的局部过热和原料反应不均的问题,同时减少能量消耗。
主权项：1.一种基于MEMS温度传感器的新型设备及其使用方法,其特征在于,包括脉冲流化床13、MEMS温度传感器12和控制模块11；流化床上部设有进料管7和进料口8；流化床下部设有出料口9；布风板5上部设有MEMS温度传感器12；空气管6下部连接流量自动调节模块3,流量自动调节模块3下部连接进气管2；MEMS温度传感器12、脉冲阀4和自动调节模块3连接控制模块11；出料口9连接出料管10。
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权利要求：
百度查询： 哈尔滨理工大学 一种基于MEMS温度传感器的新型设备及其使用方法
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