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石墨烯传感器及制造方法 

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申请/专利权人:帕拉格拉夫有限公司

摘要:提供了石墨烯传感器,优选地石墨烯生物传感器,其包括:设置在基底的非金属表面上的石墨烯层结构,所述石墨烯层结构具有用于接收检测用样品的暴露的官能化样品表面;设置成与石墨烯层结构接触并布置在官能化样品表面的相反侧上的第一电接触部和第二电接触部;其中各电接触部通过相邻的金属氧化物层而与官能化样品表面隔开,以及其中各电接触部和相邻的金属氧化物层覆盖有钝化层,由此施加至样品表面的检测用样品不能接触电接触部;以及其中官能化样品表面没有光致抗蚀剂。

主权项:1.一种石墨烯传感器,包括:设置在基底的非金属表面上的石墨烯层结构,所述石墨烯层结构具有用于接收检测用样品的暴露的官能化样品表面;设置成与所述石墨烯层结构接触并布置在所述官能化样品表面的相反侧上的第一电接触部和第二电接触部;其中各电接触部通过相邻的金属氧化物层而与所述官能化样品表面隔开,以及其中各电接触部和相邻的金属氧化物层覆盖有钝化层,由此施加至所述样品表面的检测用样品不能接触所述电接触部;以及其中所述官能化样品表面没有光致抗蚀剂。

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