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电容器及制造电容器的方法 

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申请/专利权人:松下知识产权经营株式会社

摘要:本发明提供一种配置为电容的电压依赖性降低的电容器及制造该电容器的方法。电容器1包括硅基板2、导电层3、介电层4和电极层5。硅基板2具有第一主表面21和与第一主表面21相反的第二主表面22。硅基板2具有多孔硅区域23,该多孔硅区域23包括在第一主表面21中形成的多个孔24。导电层3沿多孔硅区域23的表面231设置。介电层4具有沿多孔硅区域23的表面231的形状,并且设置在导电层3上。电极层5设置在介电层4上。

主权项:1.电容器,其包含:硅基板,该硅基板具有第一主表面和与所述第一主表面相反的第二主表面,并且具有多孔硅区域,该多孔硅区域包括在所述第一主表面中形成的多个孔;导电层,该导电层沿所述多孔硅区域的表面设置;介电层,该介电层具有沿所述多孔硅区域的表面的形状,并且设置在所述导电层上;以及电极层,该电极层设置在所述介电层上。

全文数据:

权利要求:

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