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申请/专利权人：青海圣诺光电科技有限公司
摘要：本发明属于抛光液技术领域，尤其是一种高效蓝宝石衬底粗精抛两用抛光液的制备方法，抛光液包含如下质量分数含量的组成：α氧化铝粉体10‑25％、分散剂0.05％‑0.5％、氧化剂0.1‑1％、络合剂0.1‑1％、表面活性剂0.1‑2％、消泡剂0.05‑0.3％、悬浮剂0.1‑0.5％、余量为水，制备方法为按比例将α氧化铝粉体与分散剂加入部分比例纯水搅拌分散，持续搅拌下依次加入氧化剂、络合剂、表面活性剂和悬浮剂，然后加入pH调节剂将混合物pH调节至12.5‑13.5，并补充纯水至需要的比例含量，持续搅拌2h‑5h即可。本发明中采用粒径在0.8‑1.1μm大小的α氧化铝粉体，经过本发明的配方配制，粗抛和精抛后粗糙度都能达到Ra≤0.3nm，可直接线切后直接用本抛光液作为粗抛和精抛加工，不再需要过碳化硼或金刚石抛光液。
主权项：1.一种高效蓝宝石衬底粗精抛两用抛光液的制备方法，其特征在于，所述抛光液包含如下质量分数含量的组成：α氧化铝粉体10-25％，分散剂0.05％-0.5％，氧化剂0.1-1％，络合剂0.1-1％，表面活性剂0.1-2％，消泡剂0.05-0.3％，悬浮剂0.1-0.5％，pH调节剂调节pH在13-13.5，余量为纯水；所述抛光液的制备方法包括以下步骤：步骤一：按比例将α氧化铝粉体与分散剂加入部分比例纯水搅拌分散，持续搅拌下依次加入氧化剂、络合剂、表面活性剂和悬浮剂；步骤二：然后加入pH调节剂将混合物pH调节至12.5-13.5，并补充纯水至需要的比例含量，持续搅拌2h-5h即可。
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权利要求：
百度查询： 青海圣诺光电科技有限公司 一种高效蓝宝石衬底粗精抛两用抛光液的制备方法
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