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一种具有抛光性能的水基磁流变液 

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申请/专利权人:中科擎邦科技(安徽)有限公司

摘要:本发明公开了一种具有抛光性能的水基磁流变液,包括磁性颗粒、载液和混合添加剂;所述磁性颗粒为铁粉、铁的氧化物、羰基铁、碳化铁、羟基铁粉等软磁材料中的一种或多种组合;所述的载液为水,主要作用是使固体磁性颗粒均匀分散于其中;所述混合添加剂为分散稳定剂、触变增稠剂和功能添加剂组中的两种以上混合而成;所述载液、磁性颗粒和混合添加剂的质量比为1:1.5~10:0.05~0.5;本发明配比给出的磁流变液,具有优异的的抛光性能,应用在工件抛光加工时,特别是晶圆、玻璃等对表面光泽度具有较高要求的工件处理时,能够使得工件表面粗糙度降低,以获得光亮、平整的表面的效果。

主权项:1.一种具有抛光性能的水基磁流变液,其特征在于;包括磁性颗粒、载液和混合添加剂;所述磁性颗粒为铁粉、铁的氧化物、羰基铁、碳化铁、羟基铁粉等软磁材料中的一种或多种组合;所述的载液为水,主要作用是使固体磁性颗粒均匀分散于其中;所述混合添加剂为分散稳定剂、触变增稠剂和功能添加剂组中的两种以上混合而成;所述载液、磁性颗粒和混合添加剂的质量比为1:1.5~10:0.05~0.5;所述功能添加剂组包括减摩剂、抗磨剂、抗氧化剂、防锈剂和抛光剂中的一种或多种,其中每种添加剂的质量占所述磁流变液总质量的0%~3%范围。

全文数据:

权利要求:

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