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申请/专利权人：杭州量动自动化设备有限公司
摘要：本发明公开一种用于晶圆生产的均温加热板及其制作方法一种用于晶圆生产的均温加热板，一种用于晶圆生产的均温加热板，包括加热盘背面、发热元件、需求发热面、安装槽；需求发热面是与晶圆直接接触的盘面，需求发热面上分布有若干安装槽，安装槽内部即安装有发热元件，发热元件与安装槽装配完成并挤压形变后，将加热盘背面安装在需求发热面上有安装槽的一面；一种用于晶圆生产的均温加热板的制作方法为：将发热元件放入安装槽后，通过油压机挤压发热元件，使其发生表面形变，形变后的发热元件与安装槽紧密接触。本发明从微观的加热元件与发热面的热传递效率入手，提高晶圆加热板的温度均匀性；基于挤压性变的方式使发热元件与安装槽紧密接触，提高了热传递效率。
主权项：1.一种用于晶圆生产的均温加热板，其特征在于，均温加热板包括加热盘背面1、发热元件2、需求发热面3、安装槽4；需求发热面3是与晶圆直接接触的盘面，需求发热面3上分布有若干安装槽4，安装槽4内部即安装有发热元件2，发热元件2与安装槽4装配完成并挤压形变后，将加热盘背面1安装在需求发热面3上有安装槽4的一面，即形成一种用于晶圆生产的均温加热板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州量动自动化设备有限公司 一种用于晶圆生产的均温加热板及其制作方法
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