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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆托盘的形变检测装置、方法，以及半导体的加工装置。形变检测装置包括：第一滑台，设置于晶圆托盘的上方；第二滑台，设于所述第一滑台，并在所述第一滑台上沿所述晶圆托盘的周向旋转；以及检测探头，设于所述第二滑台，随所述第二滑台进行周向旋转，和或在所述第二滑台上沿所述晶圆托盘的径向平移，确定所述晶圆托盘表面的多个位置的高度，以指示所述晶圆托盘表面的形变。通过上述晶圆托盘的形变检测装置，能够在不同温度的环境下，尤其是高温环境下，对晶圆托盘的盘面平整度进行快速检测，不仅提高了检测效率，而且能够得到精准的检测结果。
主权项：1.一种晶圆托盘的形变检测装置，其特征在于，包括：第一滑台，设置于晶圆托盘的上方；第二滑台，设于所述第一滑台，并在所述第一滑台上沿所述晶圆托盘的周向旋转；以及检测探头，设于所述第二滑台，随所述第二滑台进行周向旋转，和或在所述第二滑台上沿所述晶圆托盘的径向平移，确定所述晶圆托盘表面的多个位置的高度，以指示所述晶圆托盘表面的形变。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 晶圆托盘的形变检测装置、方法以及半导体的加工装置
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