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申请/专利权人：佳能株式会社
摘要：本发明提供测量方法、图案形成方法、物品制造方法、测量装置和光刻装置。测量基板的测量方法包括：拍摄步骤，拍摄在所述基板上配设的多个标记的图像；以及处理步骤，在对分别依据在所述拍摄步骤中拍摄的所述多个标记的图像而获得的多个评估值赋予权重的同时处理所述多个评估值，由此获取指示所述基板的状态的信息。所述多个标记包括在所述拍摄步骤中同时拍摄的至少两个标记。
主权项：1.一种测量基板的测量方法，所述测量方法包括：拍摄步骤，拍摄在所述基板上配设的多个标记的图像；以及处理步骤，在对分别依据在所述拍摄步骤中拍摄的所述多个标记的图像而获得的多个评估值赋予权重的同时处理所述多个评估值，由此获取指示所述基板的状态的信息，其中，所述多个标记包括在所述拍摄步骤中同时拍摄的至少两个标记。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 测量方法、图案形成方法、物品制造方法、测量装置和光刻装置
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