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申请/专利权人：株式会社迪思科
摘要：本发明提供被加工物的加工方法，能够一边抑制裂纹或崩边的产生一边对被加工物进行切割。该加工方法是设定有多条交叉的分割预定线并且在正面上形成有凹凸的被加工物的加工方法，该被加工物的加工方法包含如下的步骤：带配设步骤，在被加工物的正面上配设带；带平坦化步骤，在实施了带配设步骤之后，将带的上表面平坦化；被加工物保持步骤，在实施了带平坦化步骤之后，利用保持工作台隔着平坦化的带的上表面而保持被加工物，从而使被加工物的背面露出；以及切割步骤，在实施了被加工物保持步骤之后，从被加工物的背面侧沿着分割预定线对被加工物进行切割。
主权项：1.一种被加工物的加工方法，该被加工物设定有多条交叉的分割预定线并且在正面上形成有凹凸，其中，该被加工物的加工方法具有如下的步骤：带配设步骤，在被加工物的正面上配设带；带平坦化步骤，在实施了该带配设步骤之后，将该带的上表面平坦化；被加工物保持步骤，在实施了该带平坦化步骤之后，利用保持工作台隔着平坦化的该带的该上表面而保持该被加工物，从而使该被加工物的背面露出；以及切割步骤，在实施了该被加工物保持步骤之后，从该被加工物的该背面侧沿着该分割预定线对被加工物进行切割。
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