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申请/专利权人：中国科学院南京天文光学技术研究所
摘要：本发明提供于基于偏心公自转的大口径大曲率镜面膜厚均匀镀膜装置以及镀膜方法，包括：镀膜机工转机构及公转盘、大口径镜片及其工装修正板、蒸发源、第一电机和轴承模块、以及第二电机和轴承模块。第二电机和轴承模块固定安装于镀膜设备腔体顶部，且在垂直于底面方向与镀膜机工转机构固定连接，带动镀膜机工转机构沿中轴线自转；第一电机和轴承模块的一端固定安装于镀膜机工转机构的侧上方，另一端穿过大口径镜面公转盘后通过螺杆向下延伸并固定连接，第一电机和轴承模块带动大口径镜片及其工装沿中轴线自转通过镀膜机工转机构及公转盘自转并且带动大口径镜片及其工装自转的同时偏心旋转，实现大口径大曲率镜面均匀镀膜。
主权项：1.基于偏心公自转的大口径大曲率镜面膜厚均匀镀膜装置，其特征在于，包括：镀膜机工转机构及公转盘1、大口径镜片及其工装2、第一修正板3、第二修正板4、第一蒸发源5、第二蒸发源6、第三修正板7、第一电机和轴承模块8、以及第二电机和轴承模块9；第二电机和轴承模块9固定安装于镀膜设备腔体顶部，且在垂直于底面方向与镀膜机工转机构1固定连接，带动镀膜机工转机构1沿中轴线自转；第一电机和轴承模块8的一端固定安装于镀膜机工转机构1的侧上方，另一端穿过大口径镜面公转盘1后通过螺杆向下延伸并固定连接，第一电机和轴承模块8带动大口径镜片及其工装2沿中轴线自转；第二修正板4通过连接支架与镀膜机工转机构1固定，该连接支架将第二修正板4置于大口径镜面及其工转2正下方，且第二修正板4、镀膜机工转机构1与大口径镜面及其工转2在水平方向两两平行；第三修正板7、第一修正板3分别固定设置于第一蒸发源5、第二蒸发源6正上方，并固定与镀膜机腔体侧壁；各个蒸发源固定于底板上；通过镀膜机工转机构及公转盘1自转并且带动大口径镜片及其工装2自转的同时偏心旋转，实现大口径大曲率镜面均匀镀膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院南京天文光学技术研究所 基于偏心公自转的大口径大曲率镜面膜厚均匀镀膜装置以及镀膜方法
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