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申请/专利权人:台湾积体电路制造股份有限公司
摘要:一种位准移位器电路的中电压晶体管可包括衬底中的p阱区。此外,中电压晶体管可包括其中包括中电压晶体管的N+源极漏极区的n型轻掺杂源极漏极NLDD区。NLDD区中的轻掺杂使得能够减小临限电压Vt,同时使得能够在N+源极漏极区处进行中电压操作。为了减少因NLDD区中的轻掺杂而导致的中电压晶体管中的电流泄漏的量,可在中电压晶体管的栅极结构之下在NLDD区的一部分之上及或NLDD区的一部分上包括缓冲层。中电压晶体管的NLDD区及热区能够达成中电压晶体管的临限电压,同时维持相同的电流泄漏效能或减少中电压晶体管中的电流泄漏。
主权项:1.一种半导体装置,其特征在于,包括:第一掺杂区,包括第一掺杂剂类型,位于衬底中;第二掺杂区,包括第二掺杂剂类型,位于所述衬底中,且相邻于所述第一掺杂区;第一源极漏极区,包括所述第二掺杂剂类型,位于所述衬底中,且位于所述第一掺杂区上;第二源极漏极区,包括所述第二掺杂剂类型,位于所述衬底中,且位于所述第二掺杂区上;缓冲层,位于所述第二掺杂区的一部分之上;栅极氧化物层,位于所述第一掺杂区的一部分之上,位于所述缓冲层之上,且位于所述第二掺杂区的延伸区之上;以及栅极结构,位于所述栅极氧化物层之上。
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权利要求:
百度查询: 台湾积体电路制造股份有限公司 半导体装置及其制造方法及位准移位器电路
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