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一种晶圆自动检测分片设备 

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申请/专利权人:苏州瑟米精密科技有限公司

摘要:本发明公开了一种晶圆自动检测分片设备,包括第一安装架、设置在第一安装架一侧的中部安装架、设置在中部安装架远离第一安装架一侧的第二安装架,第一安装架上设置有上料组件,第一安装架上设置有辅助顶升组件,第一安装架上位于第二安装架一侧设置有分片旋转搬运组件,中部安装架上设置有第一横向输送组件,中部安装架上位于第一横向输送组件一侧设置有外观检测组件,中部安装架上位于外观检测组件一侧设置有厚度检测组件,第二安装架上设置有下料横向输送组件,运用此晶圆自动检测分片设备,代替了人工对晶圆进行搬运、外观检测、厚度检测、自动下料作业,有效提高了晶圆的生产效率,降低了晶圆生产的成本。

主权项:1.一种晶圆自动检测分片设备,其特征在于,包括第一安装架1、设置在第一安装架1一侧的中部安装架2、设置在中部安装架2远离第一安装架1一侧的第二安装架3,所述第一安装架1上设置有上料组件4,所述第一安装架1上设置有辅助顶升组件5,所述第一安装架1上位于第二安装架3一侧设置有分片旋转搬运组件6,所述中部安装架2上设置有第一横向输送组件7,所述中部安装架2上位于第一横向输送组件7一侧设置有外观检测组件8,所述中部安装架2上位于外观检测组件8一侧设置有厚度检测组件9,所述第二安装架3上设置有下料横向输送组件10,所述第二安装架3上位于横向输送组件的两侧设置有若干个升降组件11,所述升降模组29的输出端设置有存放料盒12,所述第二安装架3上位于下料横向输送组件10的两侧设置有下料纵向输送组件13。

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