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申请/专利权人：东台晶澳太阳能科技有限公司
摘要：本申请涉及一种TOPCon电池湿法氧化工艺，利用石英水瓶通过氮气鼓泡产生水蒸汽并传送到炉管内和氧气混合形成湿氧，包括如下步骤：将制绒后的硅片放入炉管中进行硼扩散，获得硼扩散后的硅片；对硼扩散后的硅片利用激光进行图形化开窗，获得激光开窗后的硅片；对激光开窗后的硅片采用水蒸汽和氧气进行湿法氧化工艺，获得氧化后的硅片；石英水瓶包括：瓶体，瓶体的内部盛装有液态水；石英舟网格设置在瓶体的内部；进气管的下端伸入至瓶体的内部且穿过石英舟网格后延伸至瓶体的底部；出气管的下端伸入至瓶体的内部，且位于石英舟网格的上方。本申请通过在石英水瓶内增加石英舟网格来改善水汽回流现象，降低水直通炉管对电池效率的影响。
主权项：1.一种TOPCon电池湿法氧化工艺，其特征在于，利用石英水瓶通过氮气鼓泡产生水蒸汽并传送到炉管内和氧气混合形成湿氧，具体包括如下步骤：将制绒后的硅片放入炉管中进行硼扩散，获得硼扩散后的硅片；对所述硼扩散后的硅片利用激光进行图形化开窗，获得激光开窗后的硅片；对所述激光开窗后的硅片采用水蒸汽和氧气进行湿法氧化工艺，获得氧化后的硅片；所述石英水瓶包括：瓶体1，所述瓶体1的内部盛装有液态水；石英舟网格2，所述石英舟网格2设置在所述瓶体1的内部；进气管3，所述进气管3的下端伸入至所述瓶体1的内部且穿过所述石英舟网格2后延伸至所述瓶体1的底部；出气管4，所述出气管4的下端伸入至所述瓶体1的内部，且位于所述石英舟网格2的上方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东台晶澳太阳能科技有限公司 一种TOPCon电池湿法氧化工艺
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