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申请/专利权人：深圳市埃芯半导体科技有限公司
摘要：本申请提供了X射线衍射谱的标定方法、装置、电子设备及存储介质，应用于X射线衍射仪，标定方法包括：获取待测样品的平面夹角、样品晶格间距、样品衍射阶数、参考衍射峰像素坐标及测量衍射峰像素坐标，以及预设复色光源的角度分辨率、特征峰对应的波长；基于平面夹角、样品晶格间距、样品衍射阶数及任一特征峰对应的波长，确定参考衍射峰像素坐标对应的参考角度；基于参考角度、参考衍射峰像素坐标、测量衍射峰像素坐标及角度分辨率，确定待测样品的X射线衍射谱的任一像素对应的标定角度值；降低了数据采集及数据处理的复杂度，提高了X射线衍射谱的角度刻度精度，进而提高了待测样品参数的准确度和精确度。
主权项：1.一种X射线衍射谱的标定方法，其特征在于，应用于X射线衍射仪，包括：获取待测样品的平面夹角、样品晶格间距、样品衍射阶数、参考衍射峰像素坐标及测量衍射峰像素坐标，以及预设复色光源的角度分辨率、特征峰对应的波长，其中，所述角度分辨率为所述预设复色光源在定标样品的X射线衍射谱的任一像素对应的角度值，所述预设复色光源包括至少2个所述特征峰，所述平面夹角为所述待测样品的测量晶面与水平方向之间的夹角；基于所述平面夹角、所述样品晶格间距、所述样品衍射阶数及任一所述特征峰对应的波长，确定所述参考衍射峰像素坐标对应的参考角度；基于所述参考角度、所述参考衍射峰像素坐标、所述测量衍射峰像素坐标及所述角度分辨率，确定所述待测样品的X射线衍射谱的任一像素对应的标定角度值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市埃芯半导体科技有限公司 X射线衍射谱的标定方法、装置、电子设备及存储介质
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