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申请/专利权人：西安航空制动科技有限公司
摘要：一种化学气相沉积炉用气体分配装置，通过下承料板、中承料板和上承料板将炉膛分为下、中、上三个沉积区域。炉膛下部的下承料板和炉膛中部的中承料板上有多个下导气管和上导气管，使13～34碳源气体通过下承料板上导气孔进入下部区域；14～23的碳源气体通过下导气管至中承料板，其中，16～13碳源气体通过中承料板上的导气孔进入中沉积区城；剩余的112～13碳源气体通过上导气管进入上沉积区域。本发明可根据产品规格、数量、装炉方式和炉膛大小，调整安装在下承料板和中承料板上导气管的数量以调控进入炉膛各沉积区域中碳源气体的比例，补充碳源气体向上扩散热解过程中造成的损耗，减小碳源气体在各区域的浓度差，提高了产品增密速率的一致性，缩短生产周期15％以上。
主权项：1.一种化学气相沉积炉用气体分配装置，其特征在于，包括预热器1、承料板、支撑柱2和导气管，其中所述承料板包括下承料板3、中承料板4和上承料板11；所述导气管包括下导气管5和上导气管10；所述预热器1上表面安放有下承料板3；在该下承料板上表面的圆周边缘处均布有支撑柱；所述中承料板位于该下承料板的上方，并套装在各支撑柱的中部；所述上承料板位于该中承料板的上方，并套装在各支撑柱的顶部；通过所述下承料板、中承料板和上承料板将炉膛分为下沉积区域、中沉积区域和上沉积区域，分别用于预制体9的叠放沉积；在所述各承料板上有多个导气孔6，并使所述多个导气孔均分为两圈，各圈的导气孔均布在所在的圆周上；分别位于外圈的导气孔与内圈的导气孔在所在承料板的径向交错排布；所述导气孔的孔径为70～100mm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安航空制动科技有限公司 一种化学气相沉积炉用气体分配装置
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