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申请/专利权人：上海赋利电子科技有限公司

摘要：本发明公开了一种高精度气体混配设备，包括底座，底座的顶部固定连接有支撑架，支撑架的两侧顶部均开设有若干个通孔，每个通孔内均设置有气瓶，支撑架的顶部固定连接有一对固定板，且支撑架的两侧均设置有限位组件，固定板的表面开设有若干个进气孔，其一侧安装有若干个气体流量控制器，且固定板的另一侧安装有净化组件，两个固定板之间设置有混配仓，混配仓的两侧侧壁均开设有第一导气孔，混配仓的顶部安装有混配组件，支撑架的顶部内壁固定连接有排气仓，排气仓的下方设置有气体分析仪。本发明可对气瓶进行限位和固定，并且可对气源气体进行净化和过滤，此外通过模块化设计，各个相关组件可根据需要随意拆卸。

主权项：1.一种高精度气体混配设备，其特征在于，包括底座，所述底座的顶部固定连接有支撑架，所述支撑架的两侧顶部均开设有若干个通孔，每个所述通孔内均设置有气瓶，所述气瓶的顶部开设有出气口，所述出气口上安装有出气阀，且所述出气口上设置有出气管，所述支撑架的顶部固定连接有一对固定板，且所述支撑架的两侧均设置有限位组件，所述固定板的表面开设有若干个进气孔，其一侧安装有若干个气体流量控制器，所述气体流量控制器的顶部和底部均开设有流量口，所述流量口上安装有流量阀，且位于气体流量控制器顶部的所述流量口上设置有进气管，所述固定板的另一侧安装有净化组件，两个所述固定板之间设置有混配仓，所述混配仓为圆筒形，其底部固定连接在支撑架的顶部，且所述混配仓的两侧侧壁均开设有第一导气孔，所述混配仓的顶部安装有混配组件，且所述混配仓的两侧底端侧壁均开设有第二导气口，所述第二导气口上安装有第二导气阀，且所述第二导气口上设置有第二导气管，所述支撑架的表面开设有一对第二导气孔，所述第二导气孔分别位于混配仓的两侧，所述支撑架的顶部内壁固定连接有排气仓，所述第二导气管穿过对应的第二导气孔，且所述第二导气管的末端管口与排气仓的内腔相连通，所述排气仓的两侧均开设有排气口，其底部两侧均开设有第三导气口，所述排气口上安装有排气阀，所述第三导气口上安装有第三导气阀，且所述第三导气口上安装有第三导气管，所述排气仓的下方设置有气体分析仪，所述第三导气管的另一端管口设置在气体分析仪两侧的接口上；所述限位组件包括限位架，所述限位架的底部呈L形，其底端固定连接在支撑架的顶端外壁，且所述限位架的顶部开设有若干个限位孔；所述净化组件包括净化仓，所述净化仓靠近进气孔的一侧为敞口结构，其顶部开设有安装口，且所述净化仓的底部开设有第一导气口，所述第一导气口上安装有第一导气阀，且所述第一导气口上设置有第一导气管，所述安装口为矩形，其上方设置有净化板，所述净化板的顶部固定连接有把手，其底部固定连接有净化座，所述净化座的横截面为矩形，其长度和宽度分别与安装口的长度和宽度对应相等，所述净化座的底部安装有若干个滤芯；所述混配组件包括顶盖，所述顶盖为圆形，其底部固定连接有凸块，且所述顶盖的顶部安装有电机，所述电机安装在顶盖上，其输出端安装有转轴，所述转轴的底端贯穿顶盖和凸块，且所述转轴的轴身安装有若干对混配板。

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