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申请/专利权人：南京宽能半导体有限公司
摘要：本发明公开了一种减震式双冷媒循环降温的晶圆切割装置，涉及晶圆切割技术领域，包括主体、气泵和水泵，所述主体的一侧设置有保护盖，所述保护盖的内部设置有刀片，所述保护盖和刀片之间设置有驱动电机，所述主体控制进行水平位移，所述保护盖的下端表面高于刀片的下端表面，所述主体的内部下方设置有载板，所述载板用于对晶圆进行固定，保护盖和刀片的间隙中填充有冷却液，冷却液主要位于刀片的两侧，冷却液的设置用于限制刀片在旋转期间出现偏转。本发明通过在刀片的外侧填充冷却液，当刀片发生震动即出现偏转时，冷却液流会对刀片产生额外的力矩，从而增加阻力，使得刀片的偏转角度减小，进而减小刀片对晶圆加工时产生的震动。
主权项：1.一种减震式双冷媒循环降温的晶圆切割装置，包括主体1、气泵和水泵，其特征在于：所述主体1的一侧设置有保护盖2，所述保护盖2的内部设置有刀片3，所述保护盖2和刀片3之间设置有驱动电机，所述主体1控制进行水平位移，所述保护盖2的下端表面高于刀片3的下端表面，所述主体1的内部下方设置有载板4，所述载板4用于对晶圆进行固定；所述保护盖2内部开设有腔室，保护盖2和刀片3的间隙中填充有冷却液，冷却液主要位于刀片3的两侧，冷却液的设置用于限制刀片3在旋转期间出现偏转；所述水泵将冷却液泵入至腔室内，随后冷却液从保护盖2的下方溢出，最后溢出的冷却液运动至刀片3的运动路径上，气泵用于提供高压气流，所述高压气流的输出终点为晶圆和刀片3的接触处。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京宽能半导体有限公司 一种减震式双冷媒循环降温的晶圆切割装置
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