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申请/专利权人：巴川集团股份有限公司
摘要：本发明的目的在于提供层叠体以及静电吸盘装置，在由陶瓷层覆盖的层叠体和静电吸盘装置中，能够在不损伤陶瓷层以外的部件的情况下剥离陶瓷层。本发明提供层叠体以及静电吸盘装置（1），所述层叠体层叠有部件、中间层（50）以及陶瓷层（60），所述中间层（50）是含有陶瓷粒子的水溶性树脂，所述静电吸盘装置（1）层叠有基台（10）、绝缘性有机膜（41、42）、中间层（50）以及陶瓷层（60），所述中间层（50）是含有陶瓷粒子的水溶性树脂。
主权项：1.一种层叠体，其特征在于，层叠有部件、中间层以及陶瓷层，所述中间层是含有陶瓷粒子的水溶性树脂。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 巴川集团股份有限公司 层叠体以及静电吸盘装置
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