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压接方法以及压接装置 

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申请/专利权人:松下知识产权经营株式会社

摘要:提供一种容易使多个基板的生产条件相等的压接方法。该压接方法包括:第一支承工序S11,由第一支承部53A支承第一基板7A的下表面;吸附工序S12,以维持第一基板7A由第一支承部53A支承的状态的方式,使第一吸引部53C吸附第一基板7A;第二支承工序S13,通过第一吸引部53C的吸附,第一基板7A由第一支承部53A支承时,由第二支承部53B支承被第二保持部54B保持的第二基板7B的下表面;压接工序S14,将压接对象物压接到第一基板7A,将压接对象物压接到第二基板7B。

主权项:1.一种压接方法,是压接装置将压接对象物分别压接到第一基板以及第二基板的方法,所述压接装置具备第一保持部和第二保持部,所述第一保持部与所述第一基板的下表面的一部分抵接,用于保持所述第一基板,所述第二保持部与第二基板的下表面的一部分抵接,用于保持所述第二基板,所述压接方法包括:第一支承工序,使包括所述第一保持部以及所述第二保持部的保持机构移动,由第一支承部支承被所述第一保持部保持的所述第一基板的下表面;第一吸附工序,以维持所述第一基板的下表面由所述第一支承部支承的状态的方式,使第一吸引部吸附所述第一基板,并且解除所述第一保持部对所述第一基板的保持;第二支承工序,通过所述第一吸引部的吸附,所述第一基板的下表面由所述第一支承部支承时,使所述保持机构移动,由第二支承部支承被所述第二保持部保持的所述第二基板的下表面;以及压接工序,在所述第一基板的上表面压接第一压接对象物,所述第一基板被所述第一吸引部吸附且被所述第一支承部支承,在所述第二基板的上表面压接第二压接对象物,所述第二基板被所述第二保持部保持且被所述第二支承部支承。

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