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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：本发明涉及挡板和喷头组件及相应的制造方法。挡板组件包括挡板、环和支撑构件。挡板具有外径并且配置成将气体分配通过衬底处理系统的喷头组件的喷头。气体从喷头组件的杆接收。该环具有内径并且被配置为设置在喷头组件的环形通道中。所述内径大于挡板的外径。支撑构件从挡板延伸到环。环和支撑构件将挡板保持在喷头的顶板和底板之间的位置。
主权项：1.一种挡板组件，包括：挡板，其被配置为设置在衬底处理系统的喷头组件中，其中所述挡板被配置为从所述喷头组件的内部通道接收气体并且将所述气体分配通过所述喷头组件的顶板和底板之间的空腔；环，其被配置为设置在所述喷头组件的相应的环形通道中；和一或多个支撑构件，其将所述挡板连接到所述环，其中所述环和所述一或多个支撑构件被配置为将所述挡板保持在所述喷头组件的所述顶板和所述底板之间的位置，其中所述一或多个支撑构件被配置为被放置在所述喷头组件的相应的一或多个凹口内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 挡板和喷头组件及相应的制造方法
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