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申请/专利权人：上海馨欧集成微电有限公司
摘要：本申请提供一种谐振器及声学滤波器，谐振器包括异质衬底和设置在异质衬底上的电极组件。异质衬底包括小声速散射角、各向异性的支撑衬底和设置在支撑衬底上的压电薄膜，支撑衬底与压电薄膜之间形成异质界面。压电薄膜内的目标声波存在至少一个方向上的振动分量具有声速‑厚度波长比色散的特性。异质界面用于将压电薄膜内的目标声波能量反射回压电薄膜，并利用声波声速‑厚度波长比色散调控声波能量的渗透、散射分量占比等传播特点，减少能量的损耗途径。不仅可以减少厚度方向的泄露，还能减少多种边界辐射和倾斜辐射，从而获得高品质因子的声学滤波器，降低声学滤波器的带内损耗、增强带边陡直度和矩形度。
主权项：1.一种谐振器，其特征在于，包括：异质衬底和设置在所述异质衬底上的电极组件；所述异质衬底包括支撑衬底和设置在所述支撑衬底上的压电薄膜，所述支撑衬底的声速散射角小于预设散射角阈值，所述支撑衬底的弹性系数为各向异性，所述支撑衬底与所述压电薄膜之间形成异质界面；所述压电薄膜内的目标声波存在至少一个方向上的振动分量具有声速-厚度波长比色散的特性，所述厚度波长比色散的特性为所述目标声波的声速随所述压电薄膜的厚度与声波波长的比值的减小而增大；所述压电薄膜的厚度与所述电极组件的周期线宽的比值在区间[0.02，0.15]内时，所述目标声波的声速的变化幅度较大，即声速-厚度波长比色散强烈；所述异质界面用于将所述压电薄膜内的所述目标声波的能量回弹到所述压电薄膜内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海馨欧集成微电有限公司 一种谐振器及声学滤波器
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