龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：芜湖映日科技股份有限公司
摘要：本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种稀土掺杂的ITO靶材及其制备方法，所述稀土掺杂的ITO靶材通过如下制备方法得到：1氧化镓球磨、2喷雾造粒、3压力成型、4高温烧结、5磨床加工；采用先预球磨氧化镓的方式使高活性纳米氧化镓和氧化铟、氧化锡粉末混合均匀，通过不同温度段，不同升温速率来进行烧结，使氧化铟锡镓充分反应，得到细晶粒，高性能的稀土掺杂的ITO靶材。
主权项：1.一种稀土掺杂的ITO靶材的制备方法，其特征在于，具体制备方法如下：1氧化镓球磨：在装有φ1-2mm锆珠的球磨罐加入氧化镓粉末，然后第一次加纯水，球磨时间16-24h，得到Y浆料，再加入氧化铟粉末和氧化锡粉末，之后第二次加纯水，球磨时间24-48h，得到Y-ITO浆料；2喷雾造粒：将Y-ITO浆料使用离心式喷雾造粒机进行干燥造粒，得到Y-ITO粉末；3压力成型：将Y-ITO粉末装入模具中进行成型，得到素胚；4高温烧结：将素胚放入常压氧气气氛的高温烧结炉中梯度升温，到达烧结温度后，保温，烧结结束后冷却，得到烧结后靶材；5磨床加工：将烧结后的靶材使用磨床加工成客户需要的尺寸，得到稀土掺杂的ITO靶材；所述步骤1中氧化铟粉末、氧化锡粉末和氧化镓粉末的重量比为80-90:13-9:7-1，其中氧化铟粉末的BET：5-10m2g，氧化锡粉末的BET：6-11m2g，氧化镓粉末的BET：4-10m2g；所述步骤4中梯度升温的速率为：650℃到温度1100-1300℃的升温速率为0.5-0.9℃min，温度1100-1300℃到1400-1600℃的升温速率为0.8-1.2℃min；所述步骤4中烧结温度：1400-1600℃，保温时间20-40h，烧结后靶材相对密度为99.6-99.85％，晶粒尺寸为3-3.4μm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芜湖映日科技股份有限公司 一种稀土掺杂的ITO靶材及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号