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申请/专利权人：西安交通大学

摘要：本发明公开了一种稀土镍酸盐薄膜截面透射样品的制备方法，属于材料电镜测试技术领域。包括以下步骤：将稀土镍酸盐薄膜切割，得到初始切割样；将两片初始切割样粘合、切割得到具有两个切面的待取样；待取样的两个切面分别固定在样品台上，依靠样品台自身重力研磨抛光得到截面样品，第一切面和第二切面均依次采用30μm、15μm、6μm、3μm、1μm和0.1μm的金刚石砂纸；最后采用离子减薄仪进行低温减薄得到稀土镍酸盐薄膜截面透射样品。本发明采用手动与机械研磨相结合的方式对稀土镍酸盐薄膜对粘样品进行预减薄，取消了凹坑过程，简化了制样流程，解决了稀土镍酸盐薄膜截面透射样品制样困难、成功率不高的问题。

主权项：1.一种稀土镍酸盐薄膜截面透射样品的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将稀土镍酸盐薄膜切割，得到初始切割样；将两片所述初始切割样的表面粘合对贴、固化，固化结束后沿所述初始切割样的长度方向切割得到待取样，待取样具有第一切面和第二切面；将第一切面固定在样品台上，依次采用30μm金刚石砂纸、15μm金刚石砂纸、6μm金刚石砂纸、3μm金刚石砂纸、1μm金刚石砂纸和0.1μm金刚石砂纸，依靠样品台自身重力与金刚石砂纸接触后进行研磨抛光得到初磨样品；第一切面研磨抛光过程中，将待取样的第一切面与金刚石砂纸接触后研磨抛光时，金刚石砂纸研磨抛光的转速为15～30rpmmin，第一切面研磨抛光后初磨样品的厚度为700μm；第一切面研磨抛光过程中，金刚石砂纸更换的条件为在100倍光学显微镜下，观察第一切面上金刚石薄膜颗粒留下划痕方向一致，更换下一规格的金刚石砂纸；将第二切面固定在样品台上，依次采用30μm金刚石砂纸、15μm金刚石砂纸、6μm金刚石砂纸、3μm金刚石砂纸、1μm金刚石砂纸和0.1μm金刚石砂纸，依靠样品台自身重力与金刚石砂纸接触后进行研磨抛光得到截面样品；第二切面研磨抛光过程中，将待取样的第二切面与金刚石砂纸接触后研磨抛光时，采用30μm金刚石砂纸进行研磨抛光时，研磨抛光的转速为15～20rpmmin；采用15μm金刚石砂纸、6μm金刚石砂纸、3μm金刚石砂纸进行研磨抛光时，研磨抛光的转速均为10～15rpmmin；采用1μm金刚石砂纸和0.1μm金刚石砂纸进行研磨抛光时，研磨抛光的转速均为5～10rpmmin；第二切面研磨抛光过程中，金刚石砂纸更换的条件为在100倍光学显微镜下，观察第二切面上金刚石薄膜颗粒留下划痕方向一致，更换下一规格的金刚石砂纸；第二切面研磨抛光过程中，采用30μm金刚石砂纸研磨抛光后，截面样品的厚度为100μm；依次采用15μm金刚石砂纸、6μm金刚石砂纸和3μm金刚石砂纸研磨抛光后，截面样品的厚度为25μm；依次采用1μm金刚石砂纸和0.1μm金刚石砂纸抛光后，截面样品的厚度为25μm；对截面样品的第一切面和第二切面同时采用离子减薄仪进行减薄至出孔，然后扩大样品切面的薄区，最后清扫非晶层得到稀土镍酸盐薄膜截面透射样品。

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