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申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：本发明提供一种显微试片制备方法、装置及记录介质。此方法包括下列步骤：撷取待测对象的测试影像；辨识测试影像中的多个测试样本，并根据辨识结果从测试影像中选择关注区域；利用激光切割关注区域中的测试样本，以产生间隙排列的测试样本作为多个目标样本；以及利用聚焦离子束切削各个目标样本为目标形状，以制备显微试片。
主权项：1.一种显微试片制备方法，适用于具有处理器的电子装置，所述方法包括下列步骤：撷取待测对象的测试影像；辨识所述测试影像中的多个测试样本，并根据辨识结果从所述测试影像中选择关注区域；使用第一种图案的掩模，利用激光切割所述关注区域中的所述测试样本，以产生间隙排列或交错排列的所述测试样本作为多个目标样本；使用第二种图案的掩模，利用所述激光切割各所述目标样本为适于切削为目标形状的特定形状；以及利用聚焦离子束切削各所述目标样本为所述目标形状，以制备所述显微试片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 显微试片制备方法、装置及记录介质
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