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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种能够高效地进行检查的检查装置。本发明的检查装置包括：配置收纳承载器的承载器收纳室的装载区域，其中该承载器收纳被检查体；检查区域，其中多个探针卡分别配置在多个检查部之下，将上述探针卡按压到卡盘顶部上的被检查体的电子器件来进行上述电子器件的检查；输送区域，其俯视时配置在上述装载区域与上述检查区域之间，由输送机构将上述被检查体输送到上述卡盘顶部上；以及配置在上述装载区域和或上述检查区域的、分别可收纳所述探针卡的多个探针卡收纳部，其为上述多个探针卡的数量以上。
主权项：1.一种检查装置，其特征在于，包括：配置收纳承载器的承载器收纳室的装载区域，其中，所述承载器收纳被检查体；检查区域，其中多个探针卡分别配置在多个检查部之下，将所述探针卡按压到卡盘顶部上的被检查体的电子器件来进行所述电子器件的检查；输送区域，其俯视时配置在所述装载区域与所述检查区域之间，由输送机构将所述被检查体输送到所述卡盘顶部上；以及配置在所述装载区域和或所述检查区域的、分别可收纳所述探针卡的多个探针卡收纳部，其为所述多个探针卡的数量以上，所述多个探针卡收纳部之中的一个或多个第一探针卡收纳部与所述多个探针卡收纳部之中的其余的一个或多个第二探针卡收纳部，在所述装载区域内隔着所述承载器收纳室上下地配置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 检查装置
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