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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司

摘要：本发明属于靶材制备技术领域，公开了一种氧化铝掺杂氧化钛镨靶材及其制备方法。所述氧化铝掺杂氧化钛镨靶材由以下质量百分含量的组分组成：氧化铝99.3％～99.8％，氧化钛0.5％～0.1％，氧化镨0.2％～0.1％。所述制备方法为：将氧化钛、氧化镨粉末和第一分散剂经湿法研磨得到浆料一；然后加入氧化铝粉末、水和第二分散剂分散湿法研磨得到浆料二；再加入粘结剂经湿法研磨得到浆料三；然后依次经喷雾造粒、与热塑性粘结剂混合后注射成型、加热脱脂处理和烧结处理，得到氧化铝掺杂氧化钛镨靶材。本发明所得靶材具有高致密度、高均匀性的优点。

主权项：1.一种氧化铝掺杂氧化钛镨靶材，其特征在于，由以下质量百分含量的组分组成：氧化铝99.3%~99.8%，氧化钛0.5%~0.1%，氧化镨0.2%~0.1%；所述氧化铝掺杂氧化钛镨靶材的相对密度＞99.7%；靶材不同部位的表面电阻率最大值Rs与最小值Rd满足Rs-RdRd15%的比率关系；所述氧化铝掺杂氧化钛镨靶材通过如下方法制备得到：（1）将氧化钛粉末、氧化镨粉末和第一分散剂加入到水中分散均匀，经湿法研磨得到浆料一；（2）向步骤（1）所得的浆料一中加入氧化铝粉末、水和第二分散剂分散均匀，经湿法研磨得到浆料二；（3）向步骤（2）所得的浆料二中加入粘结剂分散均匀，经湿法研磨得到浆料三；（4）将步骤（3）所得浆料三通过喷雾造粒，再进行混料和筛分，得到氧化铝掺杂氧化钛镨混合粉；（5）将步骤（4）中所得氧化铝掺杂氧化钛镨混合粉加入热塑性粘结剂混合均匀后经注射成型，得到氧化铝掺杂氧化钛镨靶坯；（6）将步骤（5）中所得氧化铝掺杂氧化钛镨靶坯进行加热脱脂处理，然后通入氧气以0.5~1.5℃min的升温速率升温至1300~1600℃烧结8~12h，得到氧化铝掺杂氧化钛镨靶材；步骤（1）中所述第一分散剂为聚乙烯吡咯烷酮、十二烷基苯磺酸钠或十六烷基苯磺酸钠中的一种，第一分散剂的加入量在浆料一中的质量浓度为1%~5%；步骤（2）中所述第二分散剂为PVP、SDBS或十六烷基苯磺酸钠中的一种；所述第二分散剂的加入量为氧化铝粉末和第二分散剂总质量的1%~15%；步骤（3）中所述粘结剂为聚乙烯醇或聚乙烯醇缩丁醛中的一种或两种，或为聚乙烯醇与聚乙二醇的混合剂；所述粘结剂的加入量为氧化铝粉末和粘结剂总质量的5%~15%；步骤（5）中所述热塑性粘结剂为高密度聚乙烯、硬脂酸和聚乙酸乙烯酯组合剂、聚乙烯醇缩醛、乙烯-乙酸乙烯共聚树脂中的至少一种；所述热塑性粘结剂的加入量为氧化铝掺杂氧化钛镨混合粉和热塑性粘结剂总质量的15%~40%；步骤（5）中所述注射成型的条件为：将混合物料放入注射剂混合器内混合均匀后在注射机料筒内被加热成具有流变性的塑性物料，加热温度为130~200℃，然后通过喷嘴喷出，喷嘴温度控制在180~220℃，注入到模具内，注射压力为30~100MPa，期间模具背压保持在2~20MPa范围内，待模腔充满后保压0.5~5min，保压压力为30~90MPa后进行脱模，得到氧化铝掺杂氧化钛镨靶坯；步骤（6）中所述加热脱脂处理是指在空气气氛下，以0.1~0.5℃min的升温速率升温至200~500℃保温3~8h；步骤（6）中所述通入氧气的流量为30~80Lmin。

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