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申请/专利权人：聊城大学

摘要：本发明属于光学显微测量技术领域，公开了一种非对称双目镜成像测量显微镜及测量方法，其特征在于，包括：物镜模块、分束模块、目镜一模块、目镜二模块、成像搜索电路和自动测量电路。当待测物体的厚度（或深度）较小时，利用成像板二测出待测物体的两个表面透过所述物镜所成两个实像的像距差，再查出所述物镜的放大倍数和焦距，计算得待测物体的两个表面的物距差，即待测物体的厚度（或深度）。当待测物体的厚度（或深度）较大时，可采用分多层测量再求和的方法。相对于现技术，本发明不仅能测量待测物体的厚度（或深度），还能同时观察待测物体两表面的图像；且测量简单，读数方便。

主权项：1.一种非对称双目镜成像测量显微镜，其特征在于，包括：物镜模块、分束模块、目镜一模块、目镜二模块、成像搜索电路及自动测量电路；所述物镜模块按照光线传播方向依次为：光源（1）、反射镜（2）、半反半透镜（3）、物镜（4）及载物台（5）；所述分束模块按照光线传播方向依次为：半五角棱镜（7）、半反半透分光棱镜（8）；待测物体（6）两个表面反射的光通过所述载物台（5）、所述物镜（4）后被所述半反半透镜（3）反射，再通过所述半五角棱镜（7）、所述半反半透分光棱镜（8）后被分成两束光；所述目镜一模块按照光线传播方向依次为：直角全反棱镜一（9）、镜筒一（10）、成像板一（16）、目镜筒体一（11b）及目镜一（11a）；被所述半反半透分光棱镜（8）被分束后，其中一束光通过所述直角全反棱镜一（9）、所述镜筒一（10）后进入所述目镜筒体一（11b），其中一部分光被所述成像板一（16）采集，另一部分光则通过所述目镜筒体一（11b）、所述目镜一（11a）后用于人眼直接观察；所述目镜二模块按照光线传播方向依次为：直角全反三棱镜二（12）、镜筒二（13）、伸缩筒（14a）、成像板二（21）、目镜筒体二（15b）及目镜二（15a）；被所述半反半透分光棱镜（8）被分束后，另一束光通过所述直角全反三棱镜二（12）、所述镜筒二（13）、所述伸缩筒（14a）后进入所述目镜筒体二（15b），其中一部分光光被所述成像板二（21）采集，另一部分光则通过所述目镜筒体二（15b）、所述目镜二（15a）后用于人眼直接观察；所述成像搜索电路包括成像板一（16）、主控单元一（17）、接口单元一（18）及调节单元一（19）；所述成像板一（16）将采集的光信号转换成图像信号后输出给主控单元一（17），主控单元一（17）负责对图像信号进行处理，输出控制信号控制马达一（19a），马达一（19a）驱动所述载物台（5）的高度改变来调节物距；所述自动测量电路包括成像板二（21）、主控单元二（22）、接口单元二（23）及调节单元二（24）；所述成像板二（21）将采集的光信号转换成图像信号后输出给主控单元二（22），所述主控单元二（22）负责对图像信号进行处理，输出控制信号控制马达二（24a），马达二（24a）驱动所述伸缩筒（14a）的伸出长度改变来调节目镜二（15a）和成像板二（21）的位置。

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