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申请/专利权人：密德萨克斯工业公司

摘要：用作工艺间运输机构的异步输送机网络消除了集成电路IC制造环境中基于运载工具的系统的运输能力约束。在不使用例如贮藏库等离线存储装置的情况下，可缓冲需求变化性。还消除了运输服务的等待时间上的变化性。因此，减少了总工厂循环时间，而同时增加了制造能力。自主输送机网络自动化材料处置系统将清洁无摩擦输送机原理与唯一网络布局组合以满足IC制造环境的物流要求。机械输送机对工具界面，还称为设备递送界面EDi，将所述输送机网络桥接到个别工具。操作软件模块将所述输送机网络与EDi的功能性集成在一起。结果是全能力工厂物流系统。

主权项：1.一种用于在制造环境内移动及处理在制品WIP的异步物流系统，所述制造环境包括多个工具舱区，每一工具舱区包括用于处理WIP的至少一个制造工具，所述系统包括：工艺间运输系统，其用于在制造工具之间选择性地移动所述WIP，所述工艺间运输系统由序列输送机分段构成，每一输送机分段具有相应驱动单元及相应控制器，所述相应驱动单元用于选择性地移动所述输送机分段上的WIP，所述相应控制器经配置用于至少基于来自下一连续输送机分段的指示其上存在或不存在WIP的输入而自主地且选择性地移动WIP；多个工具界面，每一工具界面在至少一个相应制造工具和所述工艺间运输系统之间，每一工具界面邻近所述工艺间运输系统的至少一个相应输送机分段，且每一工具界面具有相应控制器，所述相应控制器用于在所述工艺间运输系统的至少一个邻近输送机分段与所述至少一个相应制造工具之间自主地且选择性地移动WIP；及本地化移动协调系统，其由多个控制区带构成，每一控制区带由多个序列输送机分段及工具界面以及与所述相应输送机分段及工具界面控制器中的每一者进行通信的相应控制区带处理器构成，所述控制区带处理器针对相应控制区带内的每一WIP具有所述WIP的唯一标识符以及所述WIP的所需移动及处理的数据特性，所述控制区带处理器用于选择性地控制所述相应输送机分段及工具界面中的多者的操作，借此影响所述控制区带内的所述WIP的所述自主移动及处理；及全环境区域化移动协调系统，其由多个区域构成，每一区域由多个控制区带及相应分派控制器构成，所述相应分派控制器与每一相应控制区带处理器及所述区域化移动协调系统的所有其它区域分派控制器进行通信以实现WIP移动及处理的全环境协调。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 密德萨克斯工业公司 用以改进集成电路工厂吞吐量及循环时间的高容量自主材料处置系统