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申请/专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
摘要：本发明公开了一种显微镜锁焦系统，包括探测光源、半透半反镜、二向色镜、显微镜管镜、显微镜物镜、第一透镜、分束镜、第一狭缝元件、第二狭缝元件、第一雪崩二极管以及第二雪崩二极管；入射光束依次经过半透半反镜、二向色镜、显微镜管镜以及显微镜物镜射入样品的载玻片；反射光束依次经过显微镜物镜、显微镜管镜、二向色镜、半透半反镜以及第一透镜射入分束镜；分束镜将反射光束分成第一光束和第二光束，分别射入第一雪崩二极管和第二雪崩二极管；分束镜位于光束汇聚焦点以及第一透镜之间，第一雪崩二极管至分束镜的距离与第二雪崩二极管至光束汇聚焦点的距离之和，等于分束镜至光束汇聚焦点的距离。通过实施本发明能提高锁焦精度。
主权项：1.一种显微镜锁焦系统，其特征在于，包括：探测光源、半透半反镜、二向色镜、显微镜管镜、显微镜物镜、第一透镜、分束镜、第一狭缝元件、第二狭缝元件、第一雪崩二极管、第二雪崩二极管以及物镜移动机构；所述第一狭缝元件与所述第一雪崩二极管连接，所述第二狭缝元件与所述第二雪崩二极管连接；所述探测光源，用于生成入射光束；其中，所述入射光束依次经过所述半透半反镜、所述二向色镜、所述显微镜管镜以及所述显微镜物镜后射入样品的载玻片；所述载玻片所生成的反射光束依次经过所述显微镜物镜、所述显微镜管镜、所述二向色镜、所述半透半反镜以及所述第一透镜后射入所述分束镜；所述分束镜，用于将所述反射光束分成第一光束和第二光束；其中，所述第一光束经过所述第一狭缝元件射入所述第一雪崩二极管；所述第二光束经过所述第二狭缝元件射入所述第二雪崩二极管；在调节至预设的理想焦面时，所述分束镜位于光束汇聚焦点以及所述第一透镜之间，所述第一雪崩二极管至所述分束镜的距离与所述第二雪崩二极管至所述光束汇聚焦点的距离之和，等于所述分束镜至所述光束汇聚焦点的距离；所述物镜移动机构，用于计算所述第一雪崩二极管以及所述第二雪崩二极管所产生的电流差值，根据所述电流差值调整所述显微镜物镜的位置，直至所述电流差值为零。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 一种显微镜锁焦系统
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